平板显示曝光机
主要应用于LCD、AMOLED和Mini/Micro LED等高清显示屏制造领域,满足高清显示屏薄膜晶体管、彩色滤光片、互联电路或触控电路等工艺制程的光刻需求。
竞争优势
高透过率投影曝光系统
可选配多种对准光源波长
可显著降低运营成本
具有完全自主知识产权