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碳化硅激光退火设备
主要应用于化合物半导体器件制造领域,可满足碳化硅基背面金属欧姆接触等激光退火工艺需求。
竞争优势
兼容4/6/8英寸衬底
满足退火工艺的低热量需求
满足低氧含量等特定工艺需求