上海芯上微装科技股份有限公司

化合物半导体光刻机

主要应用于碳化硅、砷化镓、氮化镓等先进化合物半导体器件制造领域，可满足功率、射频和光电子器件等芯片制造光刻工艺需求。

竞争优势

高分辨率且大焦深

高套刻精度

工艺兼容性强