方板先进封装光刻机
主要应用于扇出面板级封装(FOPLP)、先进IC基板、玻璃基板通孔(TGV)等方板封装领域,可满足图形处理器(GPU)、光电合封(CPO)、高性能射频器件等各种方板级先进封装光刻工艺需求。
竞争优势
大曝光视场
工艺适应性强
可提供量测+光刻一站式解决方案