上海芯上微装科技股份有限公司

半导体专用温控设备

主要应用于泛半导体领域中各种工艺设备（如刻蚀机、光刻机、化学气相沉积设备、物理气相沉积设备等）的精密温度控制，也可用于精密光学仪器、精密机床制造及各种科学实验场所，满足各种应用场景的精密温度控制需求。

竞争优势

控温精度高

响应速度快

高效节能

提供定制方案