功率器件激光退火设备
主要应用于功率半导体制造领域,满足绝缘栅双极晶体管(IGBT)功率器件制程中的激光退火需求。
竞争优势
大激活深度和高激活率
良好的热效应控制
灵活的衬底应用
低客户拥有成本